节流阀

产品运用：如果线性控制和工艺可重复性很重要，是薄膜工艺应用的的下游压力控制阀。

产品特点：独特的反向旋转叶片组可在阀门的整个工作范围内提供线性控制。在打开位置，节流阀叶片在关键的抽气操作期间对泵送路径的限制很小。

反向旋转叶片设计使法兰保持低剖面，进一步最大限度地减少了电导损失和泵组高度。

产品优势：可给腔室提供稳定的线性流量控制。

产品特点:  电动配合控制系统完成阀门调节流量产品材质:  不锈钢I铝合金材质

法兰类型:  ISO-F/CF-FIA SA/JIS-B密封方式:  橡胶圈密封