高真空气动摆阀

产品运用：

适用于蒸发器和溅射中。需要紧凑型的  设计空间，特别适合要求耐腐蚀性其它  的工作环境中使用。

产品优势：

①特别平滑的开闭运动造就了优秀的低颗粒性能。阀门开启切断过程振动小，颗粒数小；

②产品分体设计，保养方便快捷；

③整个产品占用空间小，

节省使用空间。集成式

设计可以选配旁通口，

加热或水冷方案。

产品特点:  气动驱动器 带常闭弹簧

三段式气动驱动器 带常闭弹簧

双作用驱动器

标准法兰:  IS0-F,  JIS B

其它:        可定制加热或者水冷模块