高真空蝶阀

产品运用：

该阀门主要应用于 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快

实现设定压力。          产品优势：

①工艺可控性好,真空模式和角度模式可任意选择切换；

②恶劣工艺条件下可实现可靠 运行；

③响应快，精度高，可外接真 空传感器。

产品特点:  可电动控制完成阀门调节流量或气动控制开关 法兰类型:  IS0-KF,   IS0-F,  CF-F,  ASA-LP,  JIS

密封材料:  丁腈橡胶、氟橡胶、具体可按工艺需求选配