高真空L型传送阀

常用于半导体生产系统行业和工艺室的隔离及其它苛刻应用型行业，特别适合腐蚀性工艺，例如蚀刻或CVD。

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产品运用：

常用于半导体生产系统行业和工艺室的隔离及其它苛刻应用型行业，特别适合腐蚀性工艺，例如蚀刻或CVD。

产品优势：

①避免了摩擦的发生和潜在粒子的生成，还最大限度地减少密封件磨损。

②产品耐腐蚀性好，且动平衡性能稳定。

③安装方便，保养便捷，使用寿命长。

产品特点：无颗粒的产生，可循环使用寿命长（可特殊定制）

产品材质：航空铝材或不锈钢（可特殊定制）

密封方式：氟胶圈密封+波纹管密封

开口通径

主要材质

驱动器

例编号

DN336X50

铝合金

气动，双作用

VAvay-L1113-61-B-DN336X50

DN480X50

铝合金

气动，双作用

VAvay-L1113-61-B-DN480X50

DN496X56

铝合金

气动，双作用

VAvay-L1113-61-B-DN496X56

DN500X80

铝合金

气动，双作用

VAvay-L1113-61-B-DN500X80

DN800X100

铝合金

气动，双作用

VAvay-L1113-61-B-DN800X100